アライメントステージ

アライメントステージとは? カメラなどで計測した目標位置(アライメントマーク)と現在位置の誤差を認識し、
誤差が規定値以下になるまで搭載物を移動させるステージ

アライメントステージに必要な性能

標準的な位置決めステージに要求される位置決め精度はもちろんのこと、追従性、位置安定性などが非常に重要な項目となってきます。
多軸組合せでの性能が要求されるため、単純に位置決めステージを積み重ねただけでは必要な性能が得られない場合があります。
アライメント時に要求される精度、位置決め時間などに応じて最適なステージを選定する必要があります。

アライメントステージの種類

アライメントステージには以下3種類があります。

XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型のもの
YRAシリーズ

メリット・小型・省スペース・全高が低い・重量が軽い・各軸の駆動が独立しているため制御が簡単
単軸のステージを積み重ねたもの
モンブランシリーズ組み合わせ

メリット・多彩なカタログ品から必要なスペックを満たす
ステージを組合せることが出来る・幅広い改造対応が可能
XYθ軸の各軸を3~4つのユニットの複合動作で
動作させるもの
RSTAステージ

メリット・高い追従性・サイズの自由度が高い・大きな透過穴が確保できる