自動6軸ステージ

小型6軸マニピュレータ【MPSシリーズ】

製品仕様

軸名称	移動範囲＊1	最高速度	分解能＊2	ドライバ分割数
X	±5mm	1mm/sec	0.1μm	1/10
Y	±5mm	1mm/sec	0.1μm	1/10
Z	±5mm	10mm/sec	0.1μm	1/10
θx	±3°	3.8°/sec	約0.00038°	1/2
θy	±3°	2.8°/sec	約0.00028°	1/2
θz	±3°	18°/sec	0.0018°	1/4

＊1 移動範囲は延長することが可能です。
＊2 分解能はドライバ分割数の設定によって変更が可能です。

軸構成（図をクリックで拡大）

寸法図（図をクリックで拡大）

小型6軸マニピュレータ【SMRシリーズ】

製品仕様

軸名称	移動範囲	最高速度	分解能（ハーフステップ）
X	±3mm	10mm/sec	1μm
Y	±3mm	10mm/sec	1μm
Z	±2.5mm	1.25mm/sec	0.125μm
θx	±5°	11.3°/sec	約0.000378°
θy	±4.5°	8.5°/sec	約0.000282°
θz	±3°	12.7°/sec	0.00127°

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寸法図（図をクリックで拡大）

小型6軸マニピュレータ【USMシリーズ】

集中コネクタユニット

6軸のモータ、センサー配線が1か所に集約され、面倒な多軸の配線作業を容易にします。
（不要な場合は、取り外しも可能です。）

集中コネクタユニット

自重（約3kg）が軽いので、高速で稼働する搬送軸への搭載が可能です

高追従性

直線方向でサブミクロン、角度で秒単位の追従性を有しており、高い精度でで指令値通りの位置決めを完了します。
参考例スイベルステージの1パルス送りの追従性データです。0.000797degに対して、± 0.0002deg以内の誤差に収まっています。

製品仕様

軸名称	移動範囲	最高速度	最小分解能	ドライバ分割数
X	±3mm	10mm/sec	0.1μm	1/20
Y	±3mm	10mm/sec	0.1μm	1/20
Z	±1.5mm	2.5mm/sec	0.025μm	1/20
θ	±3°	12.7°/sec	0.000127°	1/20
α	±3°	9.6°/sec	約0.0000637°	1/20
β	±3°	12°/sec	約0.0000797°	1/20