位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
RM16A-C3
価格(JPY)
¥171,000
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メカ仕様
型式
RM16A-C3
勝手違い
RM16A-C3-R
テーブル面
Φ158mm
案内方式
クロスローラベアリング
駆動方式
精密ポジショナー FPP03-13(13mm)
回転範囲
粗動360° 微動±3°
最小読み取り（テーブル）
1°/目盛
最小読み取り（マイクロ）
粗動 約0.0063°/目盛, 微動 約0.00031°/目盛
モーメント剛性
0.05arcsec/N・cm
水平耐荷重
294N (30kgf)
センター穴
φ50
面振れ
20μm/360°
偏心
15μm/360°
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
1.9kg
オーバーホール費
¥24,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます）
¥15,000
真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます）
¥15,000
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラベアリングを使用した手動回転ステージです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●RM16A-C3は「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
