位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
XM16A-S1
価格(JPY)
¥90,000
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メカ仕様
型式
XM16A-S1
勝手違い
XM16A-S1-R
テーブル面
160mm×160mm
案内方式
精密クロスローラーガイド
駆動方式
マイクロメータヘッド (25mm)
移動範囲
±12.5mm
最小読み取り
≦2.0μm/25mm
真直度
≦2.0μm/25mm
モーメント剛性
0.03 arcsec/N･cm
水平耐荷重
196N (20kgf)
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
2.7kg
オーバーホール費
¥21,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます）
¥18,000
真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます）
¥18,000
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した手動Xステージです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
