アライメントステージ
YRA-070
価格(JPY)
¥450,000
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ステージ結線図
メカ仕様
型式
YRA-070
勝手違い
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テーブル面
70mm×70mm
案内方式
XY：精密クロスローラガイドθ：クロスローラベアリング
移動範囲
XY：±3mm θ：±3°
送り方式
ボールネジ, リード 1.0mm
分解能 フル/ハーフ
XY：2μm/1μm θ: 0.002546°/0.001273°
最高速度
XY：10mm/sec : Half 10kpps θ：12.7°/sec : Half 10kpps
繰返し位置決め精度
X：≦±0.5μm（AVE. ±0.088μm） Y：≦±0.5μm（AVE. ±0.075μm）
ロストモーション
X：≦ 2μm（AVE. 0.356μm） Y：≦ 2μm（AVE. 0.354μm） θ：≦ 0.005°（AVE. 0.0013°）
水平真直度
X：≦ 1μm/6mm（AVE. 0.237μm/6mm） Y：≦ 1μm/6mm（AVE. 0.253μm/6mm）
垂直真直度
X：≦ 1μm/6mm（AVE. 0.154μm/6mm） Y：≦ 1μm/6mm（AVE. 0.187μm/6mm）
角度再現性
θ：≦ 0.001°（AVE. 0.0002°）
バックラッシュ
X：≦ 1μm（AVE. 0.35μm） Y：≦ 1μm（AVE. 0.288μm） θ：≦ 0.005°（AVE. 0.0013°）
モーメント剛性
X：0.6arcsec／N・cm（AVE. 0474 arcsec/N・cm） Y：0.6arcsec／N・cm（AVE. 0.434 arcsec/N・cm）
水平耐荷重
49N (5kgf)
面振れ
θ：≦5μm/±3°（AVE. 2.708μm/±3°）
偏心
θ：≦3μm/±3°（AVE. 0.517μm/±3°）
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
1.45kg
電気仕様
使用モーター 5相ステッピングモーター
PK513PB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.35A/相，基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
コネクタ型式
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
オーバーホール費
¥120,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます）
¥45,000~
真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます）
¥45,000~
オプション・モータ交換
同形モータ交換費
¥45,000~
異形モータ交換費
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制御装置
アクセサリ
備考・特徴
本体厚さ: 45mm