真空対応ステージ
MVSA13A-RM01
価格(JPY)
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メカ仕様
型式
MVSA13A-RM01
テーブル面
130mm×130mm
案内方式
精密クロスローラガイド
移動範囲
±10°
回転範囲
±10°
送り方式
ウォーム＆ウォームホイール 1/400
分解能 フル/ハーフ
0.0018°/0.0009°
分解能 マイクロステップ（1/20分割）
0.00009°
最高速度
4.5°/sec : Half 5kpps
ロストモーション
≦0.01°
バックラッシュ
≦0.006°
モーメント剛性
0.02 arcsec/N・cm
水平耐荷重
98N (10kgf)
ワークディスタンス
173mm±0.5mm
回転中心変位量
φ0.05mm/±10°
材質
アルミ合金
自重
5.1kg
電気仕様
使用モーター 5相ステッピングモーター
真空5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相，基本ステップ角 0.72°
コネクタ型式
真空用 D-sub 9ピン (Accu-Glass Products: 9D-HVCP)
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●案内方式に精密クロスローラガイドを使用した真空対応スイベルステージです。
●本体材質はアルミ。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
