真空対応ステージ
MVZA16A-W2C01
価格(JPY)
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メカ仕様
型式
MVZA16A-W2C01
テーブル面
160mm×160mm
案内方式
精密クロスローラガイド
移動範囲
±8mm
送り方式
1/4-クサビ, ボールネジ, リード 1.0mm
分解能 フル/ハーフ
0.5μm/0.25μm
分解能 マイクロステップ（1/20分割）
0.025μm
最高速度
1.25mm/sec : Half 5kpps
繰返し位置決め精度
≦±0.5μm
ロストモーション
≦±0.5μm
垂直度
≦10μm/16mm
水平耐荷重
196N (20kgf)
材質
アルミ合金
自重
7.1kg
電気仕様
使用モーター 5相ステッピングモーター
真空5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相，基本ステップ角 0.72°
コネクタ型式
真空用 D-sub 9ピン (Accu-Glass Products 9D-HVCP)
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した、クサビ型真空対応自動Zステージです
●送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
