位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
XA07F-R202
メカ仕様
型式
XA07F-R202
勝手違い
XA07F-R202-R
テーブル面
70mm×70mm
案内方式
精密クロスローラガイド
移動範囲
±10mm
送り方式
ボールネジ, リード 1.0mm
分解能 フル/ハーフ
1μm/0.5μm
分解能 マイクロステップ(1/20分割)
0.05μm
最高速度
5mm/sec
累積リード誤差
≦ 5μm/20mm(AVE.0.81μm/20mm)
繰返し位置決め精度
≦±0.2μm (AVE. ±0.04μm)
ロストモーション
≦ 0.5μm (AVE. 0.18μm)
水平真直度
≦ 0.5μm/20mm(AVE. 0.18μm/20mm)
垂直真直度
≦ 0.6μm/20mm(AVE. 0.26μm/20mm)
バックラッシュ
≦ 0.2μm (AVE. 0.1μm)
モーメント剛性
0.05 arcsec/N・cm (AVE. 0.03 arcsec/N・cm)
水平耐荷重
98N (10kgf)
材質
鉄
外観
ニッケルメッキ仕上げ
自重
1.05kg
電気仕様
センサ基板型式
F-116(HOME, LIMIT), 勝手違い: F-116R(HOME, LIMIT)
モーター軸径
Φ5mm , オプションハンドル:A type
使用モーター 5相ステッピングモーター
オリエンタルモーター: PK523HPMB
コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
2相モーター仕様 型式
XA07F-R202-BM
2相モーター仕様:使用モーター
オリエンタルモーター: PKP225D15B2
2相モーター仕様:コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
オーバーホール費
¥42,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
¥30,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
¥30,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費
¥12,000~
異形モータ交換費
¥30,000~
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した自動Xステージです。
●送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。
●5相ステッピングモーター使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。