位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
XA07A-L202
価格(JPY)
¥190,000
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ステージ結線図
メカ仕様
型式
XA07A-L202
勝手違い
XA07A-L202-R
テーブル面
70mm×70mm
案内方式
精密リニアガイド
移動範囲
±35mm
送り方式
ボールネジ, リード 1.0mm
分解能 フル/ハーフ
1μm/0.5μm
分解能 マイクロステップ（1/20分割）
0.05μm
最高速度
5mm/sec
累積リード誤差
≦ 8μm/70mm(AVE. 2.31μm/70mm)
繰返し位置決め精度
≦±0.5μm (AVE. ±0.06μm)
ロストモーション
≦ 1μm (AVE. 0.41μm)
水平真直度
≦ 3μm/70mm(AVE. 1.18μm/70mm)
垂直真直度
≦ 3μm/70mm(AVE. 0.73μm/70mm)
バックラッシュ
≦ 1μm (AVE. 0.16μm)
モーメント剛性
0.18 arcsec/N･cm (AVE. 0.09 arcsec/N･cm)
水平耐荷重
68.6N (7kgf)
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
1.15kg
電気仕様
センサ基板型式
F-107(LIMIT), F-108(HOME)
モーター軸径
Φ5mm , オプションハンドル：A type
使用モーター 5相ステッピングモーター
オリエンタルモーター: PK523HPMB
コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
2相モーター仕様 型式
XA07A-L202-BM
2相モーター仕様：使用モーター
オリエンタルモーター: PKP225D15B2
2相モーター仕様：コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
オーバーホール費
¥48,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます）
¥36,000
真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます）
¥36,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費
¥12,000~
異形モータ交換費
¥30,000~
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●精密リニアガイドを使用した自動Xステージです。
●ロングストロークタイプ。
●送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。
●5相ステッピングモーター使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。
