位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
XA16F-L2101
価格(JPY)
¥360,000
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ステージ結線図
メカ仕様
型式
XA16F-L2101
勝手違い
XA16F-L2101-R
テーブル面
160mm×160mm
案内方式
精密リニアガイド
移動範囲
±50mm
送り方式
ボールネジ, リード 5.0mm
分解能 フル/ハーフ
10μm/5μm
分解能 マイクロステップ（1/20分割）
0.5μm
最高速度
50mm/sec※入力電源AC100V仕様のドライバー使用時
累積リード誤差
≦ 15μm/100mm(AVE. 2.71μm/60mm)
繰返し位置決め精度
≦±0.5μm (AVE. ±0.06μm)
ロストモーション
≦ 5μm (AVE. 2.82μm)
水平真直度
≦ 4μm/100mm(AVE. 1.03μm/100mm)
垂直真直度
≦ 2μm/100mm(AVE. 0.78μm/100mm)
バックラッシュ
≦ 2μm (AVE. 0.22μm)
モーメント剛性
0.02 arcsec/N･cm (AVE. 0.001 arcsec/N･cm)
水平耐荷重
392N (40kgf)
材質
鉄 (テーブル: アルミ合⾦)
外観
⿊⾊仕上げ
自重
11.5kg
電気仕様
センサ基板型式
F-104(LIMIT), F-105(HOME)
モーター軸径
Φ8mm , オプションハンドル：B type
使用モーター 5相ステッピングモーター
オリエンタルモーター: C087Q-9215P
コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12RA-20PC)
2相モーター仕様 型式
XA16F-L2101-BM※ 追加費用￥40,000コネクタ型式が変わります。
2相モーター仕様：使用モーター
オリエンタルモーター: PK264JDB
2相モーター仕様：コネクタ型式
角形20ピン (ヒロセ: PC-1620, P-1620A-STA)
オーバーホール費
¥60,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます）
¥48,000
真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます）
¥48,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費
¥15,000~
異形モータ交換費
¥36,000~
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●本体部材質に鉄、送り⽅式にボールネジを採⽤することにより⾼剛性と精密位置決めを同時に実現。
●各種測定機器への利⽤に最適。
●原点復帰の際に、領域（データム）センサを利用しています。CW側常時遮光。
●モーター5本リード線⽤ケーブルをご使⽤ください。
