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カタログ
総合カタログ Vol.22
小型位置決めステージをはじめ制御用コントローラーや大型特注機器のご紹介なども載っている総合カタログです。
PDF（49MB）
超高精度
6軸アライメントステージ
駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、これまでのRSTアライナーでは別途追加になっていた昇降チルトの駆動が可能になりました！
PDF（696KB）
自動Zステージ特集
自動Zステージのタイプ別に紹介しています！
また、カスタム事例も紹介しています！
PDF（1.22MB）
新製品
自動回転ステージ
RA05A-T01
タンジェントバー式小型自動回転ステージが誕生しました。
薄型化（22mm）により、搭載装置全体の省スペース化に貢献します。
PDF（0.7MB）
高精度
ロングストローク
XYステージ
大型のXステージをXYの二軸組み合わせました。ストローク違いでも組み合わせましたので必要最小限のペアを選んでいただければ省スペース化が可能です。
PDF（1.3MB）
ボールネジ駆動スイベル 100mmx100mm
50mmx50mm、70mmx70mmに加え「100mmx100mm」のサイズもラインラップに追加しました！
既存機にくらべ、耐久性、高分解能、軽量となりましたのでぜひご検討ください。
PDF（1.5MB）
超高精度
アライメントステージ
RST Aligner
XYΘの3軸駆動が可能なアライメントステージです。
大口径透過穴、特注への柔軟な対応が可能な構造ですのでお気軽にご相談ください。
PDF（0.8MB）
KOHZU
6軸マニピュレータ集
弊社の小型位置決めステージ群で構成された6軸マニュピュレーターのご紹介です。 用途に応じたカスタマイズもご提案いたします。
PDF（4.6MB）
Smart アライメント
３自由度XYθの薄型アライメントステージとボールネジ駆動の小型回転ステージのご紹介です。
PDF（1.25MB）
手ぶれシミュレータ
TSSシリーズ
カメラの手振れ補正機能の検証を行うための、CIPA規格認証を取得している手振れ振動再現ステージです。
PDF（1.2MB）
表面形状計測システム
Dyvoce
ワークに合わせたレーザ変位計でウェハーのSORI量や基板や部品形状などの測定解析を行うシステムです。
PDF（0.7MB）
高荷重ゴニオメータ
MAX-G
水平・垂直設置に対応したゴニオメーター（自動θステージ）です。
特に水平耐荷重は10,000Nと15,000Nの高耐荷重となっています。
PDF(0.5MB)
取扱説明書
モーターコントローラ KOSMOSシリーズ
| 製品名 | 備考 |
|---|---|
| CRUX-D/INCOM PDF | Rev 1.02 2020/09/30更新 (PDF 5.70MB) |
| ARIES/LYNX/PYXIS PDF | Rev.1.43 2021/08/16更新 (PDF 3.84MB) |
| TITAN-AⅡ PDF | Rev.1.11 2014/10/01更新 (PDF 843KB) |
| TITAN-DⅡF PDF | Rev.2.00 2015/11/05更新 (PDF 867KB) |
| VIRGO PDF | Rev.1.01 2020/04/30更新 (PDF 2.35MB) |
| Chamonix PDF | Rev.1.2.3 2020/03/13更新 (PDF 8.5MB) |
| CRUX/CRUX-A（旧製品） PDF | Rev.1.41 2020/04/27更新 (PDF 5.24MB) |
モータードライバ結線図
| 製品名 | 備考 |
|---|---|
|
MD-551F,MD-55F,MD-255F MD-355F,MD-455F PDF |
モーターケーブル CA**VL,CB**VL,RCA**VL,RCB**VL 2015/11/10 (PDF 376KB) |
モータードライバ
アプリケーション
サンプルプログラム
| 製品名 | 説明 | ダウンロード(圧縮ファイル) | 備考 |
|---|---|---|---|
| モーターコントローラ 制御サンプルコード |
RS-232C接続制御 TCP/IP接続制御 Visual Basic, C# | Download | ZIP 690KB |
結線図
ステージとドライバの結線
ステージとモータードライバ、他社製コントローラとの接続を行う場合は
下記リンクPDFを参考にしてください。
ケーブル結線図
コントローラ用ケーブル(TITAN/CRUX/ARIES/LYNX)
| 製品種別 | 型式（**は長さ） |
|---|---|
| TITAN/CRUX用モーターケーブル 5本リードモーターステージ用 |
CA15**, RCA15** CB15**, RCB15** PDF |
| TITAN/CRUX用モーターケーブル 10本リードモーターステージ用（旧製品） |
CA15**A CB15**A PDF |
| ARIES/LYNX用制御ケーブル | CPS*** PDF |
| ARIES/LYNX用 フィードバックケーブル(受注生産) |
CM20**ENC PDF |
| 御客様準備コントローラ用 フィードバックケーブル（受注生産） |
CENCｰ**F PDF |
ドライバ用ケーブル
| 製品種別 | 型式（**は長さ） |
|---|---|
| ドライバ用ケーブル 5本リードモーターステージ用 |
CA**VL, RCA**VL CB**VL, RCB**VL PDF |
| ドライバ用ケーブル 10本リードモーターステージ用（旧製品） |
CA**, RCA** CB**, RCB** PDF |
SCコントローラ用ケーブル
| 製品種別 | コネクタ種別 | 型式（**は長さ） |
|---|---|---|
| SC-210/410用ケーブル （旧製品） |
角型コネクタ ステージ用 |
CA28**, RCA28** PDF |
| 丸型コネクタ ステージ用 |
CB28**, RCB28** PDF | |
| SC-021用ケーブル （旧製品） |
角型コネクタ ステージ用 |
CA13**, RCA13** PDF |
| 丸型コネクタ ステージ用 |
CB13**, RCB13** PDF | |
| SC-210/SC-410用 フィードバックケーブル （旧製品） |
角型コネクタ ステージ用 |
CA28**ENC(-△△) (**はステージ 側ケーブル長さ（ｍ）) （(-△△)は エンコーダ側ケーブル長さ（ｍ）) （ステージ側と同じ場合は無記）） PDF |
| 丸型コネクタ ステージ用 |
CB28**ENC(-△△) (**はステージ 側ケーブル長さ（ｍ）) （(-△△)は エンコーダ側ケーブル長さ（ｍ）) （ステージ側と同じ場合は無記）） PDF |
|
| SC-021用 フィードバックケーブル（旧製品） |
CENC-**F PDF | |