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2024

11／07

先進パワー半導体分科会第11回講演会出展のお知らせ平素は格別のお引き立てを賜り、誠にありがとうございます。11/25(月)〜11/26(火)に群馬県のGメッセ群馬で開催される《先進パワー半導体分科会第11回講演会》に出展いたします。 ---　TOPIC　--------------------------------------------------------------------------------------　●　形状測定システム《 Dyvoce 》のご案内　　　　・　1mm以上の反りでも測定可能　　　　・　サイト平坦度評価アプリケーション　　　　・　応力解析アプリケーション-------------------------------------------------------------------------------------------------------- 《　1mm以上の反り　》φ8インチSiCウエハで特に厚さ350μmの場合、プロセスによっては600μm以上の反りとなることもあります。その状態でも安定的に反り（SORI）測定・厚さ（GBIR）想定が可能です。《　サイト平坦度評価アプリケーション　》ウエハのSORIやGBIRなどのグローバルな情報をもとに、サイトの平坦度評価が可能なアプリケーションをご案内いたします。《　応力解析アプリケーション　》プロセス前後でのウエハのSORIやGBIRなどのグローバルな情報をもとに、ウエハが持つ応力を解析で・出力できるアプリケーションをご案内いたします。 □■□━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 先進パワー半導体分科会第11回講演会会期：　11 月 25日（月）09：55〜17：45　11 月 26日（火）09：30〜17：30会場：Gメッセ群馬住所：〒370-0044 群馬県高崎市岩押町12-24TEL：027-322-2100URL：https://annex.jsap.or.jp/adps/scrm11/ブースNo.：通路エリア　A-01 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 皆様のお越しを心よりお待ちしております。

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