アライメントステージ
アライメントステージとは?
カメラなどで計測した目 標位置(アライメント マーク)と現在位置の誤 差を認識し、
誤差が規定 値以下になるまで搭載物 を移動させるステージ
誤差が規定 値以下になるまで搭載物 を移動させるステージ
アライメントステージに必要な性能
標準的な位置決めステージに要求される位置決め精度はもちろんのこと、追従性、位置安定性などが非常に重要な項目となってきます。
多軸組合せでの性能が要求されるため、単純に位置決めステージを積み重ねただけでは必要な性能が得られない場合があります。
アライメント時に要求される精度、位置決め時間などに応じて最適なステージを選定する必要があります。
![](https://www.kohzu.co.jp/wp-content/themes/kohzu/assets/img/products/alignment-stages/img_01.jpg)
アライメントステージの種類
アライメントステージには以下3種類があります。
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XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型のものYRAシリーズメリット ・小型・省スペース ・全高が低い ・重量が軽い ・各軸の駆動が独立しているため制御が簡単
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単軸のステージを積み重ねたものモンブランシリーズ組み合わせメリット ・多彩なカタログ品から必要なスペックを満たす
ステージを組合せることが出来る ・幅広い改造対応が可能 -
XYθ軸の各軸を3~4つのユニットの複合動作で
動作させるものRSTAステージメリット ・高い追従性 ・サイズの自由度が高い ・大きな透過穴が確保できる
薄型アライメントステージガイダンス
YRAシリーズ
製品一覧
精密薄型アライメントステージ 自動 多軸ステージ モンブランシリーズ
- XYθ高精度ステージ 自動アライメントの実力!
超高精度アライメントステージ RST Aligner
- RST Aligner