アライメントステージ
CYAT-070
価格(JPY)
¥400,000
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ステージ結線図
メカ仕様
型式
CYAT-070
勝手違い
-
テーブル面
80mm×80mm
案内方式
リニアガイド
移動範囲
±15mm
送り方式
ボールネジ リード1.0mm
分解能 フル/ハーフ
1μm/0.5μm
分解能 マイクロステップ（1/20分割）
0.05μm
最高速度
5mm/sec（10kpps/Half時）
累積リード誤差
≦15μm/30mm
繰返し位置決め精度
≦±0.5μm
ロストモーション
≦2μm
水平真直度
≦3μm/30mm
垂直真直度
≦3μm/30mm
バックラッシュ
1μm以内
モーメント剛性
0.3arcsec/N・cm
水平耐荷重
98N (10kgf)
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
1.7kg
電気仕様
センサ基板型式
F-115(HOME, LIMIT)
使用モーター 5相ステッピングモーター
PK523HPMB-C4（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相）
コネクタ型式
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
本体厚さ: 30mm