アライメントステージ
YRA-131
価格(JPY)
¥700,000
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ステージ結線図
メカ仕様
型式
YRA-131
勝手違い
-
テーブル面
130mm×130mm
案内方式
XY：精密クロスローラガイドθ：クロスローラベアリング
移動範囲
XY：±5mm θ：±5°
送り方式
ボールネジ, リード 1.0mm
分解能 フル/ハーフ
XY：1μm/0.5μm θ:0.000674°/0.000337°
最高速度
XY：10mm/sec : Half 20kpps θ：6.74°/sec : Half 20kpps
繰返し位置決め精度
XY：≦±0.5μm
ロストモーション
XY：≦ 2μm θ：≦ 0.005°
水平真直度
XY：≦ 1μm
垂直真直度
XY：≦ 1μm
角度再現性
θ：≦ 0.001°
バックラッシュ
XY：≦ 1μm θ：≦ 0.005°
モーメント剛性
XY：0.1arcsec／N・cm
水平耐荷重
196N (20kgf)
面振れ
θ：≦5μm/±5°
偏心
θ：≦3μm/±5°
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
4.5kg
電気仕様
センサ基板型式
XYθ:F-115(HOME, LIMIT)
使用モーター 5相ステッピングモーター
PK523HPMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
コネクタ型式
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
オーバーホール費
¥140,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます）
¥60,000~
真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます）
¥60,000~
オプション・モータ交換
同形モータ交換費
¥45,000~
異形モータ交換費
¥90,000~
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
本体厚さ: 60mm