位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
RA07A-T02
メカ仕様
型式
RA07A-T02
勝手違い
RA07A-T02-R
テーブル面
70mm×70mm
案内方式
クロスローラベアリング
回転範囲
±5°
送り方式
タンジェントバー (ボールネジ)
分解能 フル/ハーフ
0.001364° / 0.000682°
分解能 マイクロステップ(1/20分割)
0.0000682°
最高速度
13.64°/sec : Half 20kpps
ロストモーション
≦0.005° (AVE. 0.0018°)
角度再現性
≦0.002° (AVE. 0.0001° )
バックラッシュ
≦0.005° (AVE. 0.0015° )
モーメント剛性
0.15 arcsec/N・cm (AVE. 0.02 arcsec/N・cm)
水平耐荷重
78.5N(8kgf)
面振れ
≦ 5μm/±5° (AVE. 1.7μm/±5° )
偏心
≦ 5μm/±5° (AVE. 0.99μm/±5° )
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
0.9kg
電気仕様
センサ基板型式
F-115(H OME, LIMIT), 勝手違い: F-115R(HOME, LIMIT)
モーター軸径
Φ5mm , オプションハンドル:A type
使用モーター 5相ステッピングモーター
オリエンタルモーター: PK523HPMB-C4
コネクタ型式
ヒロセ: RP13A-12JG-20PC
2相モーター仕様 型式
RA07A-T02-BM
2相モーター仕様:使用モーター
オリエンタルモーター: PKP225D15B2
2相モーター仕様:コネクタ型式
ヒロセ: RP13A-12JG-20PC
オーバーホール費
¥60,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
¥48,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
¥48,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費
¥12,000~
異形モータ交換費
¥30,000~
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●耐久性に強いボールねじ駆動です
●タンジェントバー式の薄型自動回転ステージです
●超高分解能タイプ
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。
●標準品はクリーングリスAFF使用