位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
SXA0750-R01
メカ仕様
型式
SXA0750-R01
勝手違い
SXA0750-R01-R
テーブル面
75mm×100mm
案内方式
精密クロスローラガイド
移動範囲
±25mm
送り方式
ボールネジ, リード 1.0mm
分解能 フル/ハーフ
1μm/0.5μm
分解能 マイクロステップ(1/20分割)
0.05μm
最高速度
10mm/sec (Half 20kpps)
累積リード誤差
≦ 12μm/50mm
繰返し位置決め精度
≦±0.3μm
ロストモーション
≦ 1.0μm
水平真直度
≦ 1.5μm/50mm
垂直真直度
≦ 1.5μm/50mm
バックラッシュ
≦ 0.2μm
モーメント剛性
0.045 arcsec/N・cm
水平耐荷重
196N (20kgf)
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
0.95kg
電気仕様
センサ基板型式
F-115(HOME, LIMIT), 勝手違い: F-115R(HOME, LIMIT)
モーター軸径
Φ5mm , オプションハンドル:A type
使用モーター 5相ステッピングモーター
オリエンタルモーター: PK524HPMB
コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
2相モーター仕様 型式
SXA0750-R01-BM
2相モーター仕様:使用モーター
オリエンタルモーター: PKP225D15B2
2相モーター仕様:コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
オーバーホール費
対応不可
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
交換不可
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
交換不可
オプション・モータ交換
同形モータ交換費
¥15,000~
異形モータ交換費
¥36,000~
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●新製品 低価格・高精度・短納期を実現した『SXステージ』シリーズです。
●精密クロスローラガイドを使用したロングストローク自動Xステージです。
●クリーングリスを使用しています。
●送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。
●5相ステッピングモーター使用。
●原点復帰の際に、領域(データム)センサを利用しています。CW側常時入光。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。