位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
XA04A-R201
価格(JPY)
¥149,000
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ステージ結線図
メカ仕様
型式
XA04A-R201
勝手違い
XA04A-R201-R
テーブル面
40mm×40mm
案内方式
精密クロスローラガイド
移動範囲
±5mm
送り方式
ボールネジ, リード 1.0mm
分解能 フル/ハーフ
2μm/1μm
分解能 マイクロステップ（1/20分割）
0.1μm
最高速度
10mm/sec
累積リード誤差
≦ 5μm/10mm(AVE. 1.85μm/10mm)
繰返し位置決め精度
≦±0.2μm (AVE. ±0.06μm)
ロストモーション
≦ 1μm (AVE. 0.35μm)
水平真直度
≦ 2μm/10mm(AVE. 0.5μm/10mm)
垂直真直度
≦ 2μm/10mm(AVE. 0.26μm/10mm)
バックラッシュ
≦ 0.5μm (AVE. 0.16μm)
モーメント剛性
0.51 arcsec/N･cm (AVE. 0.31 arcsec/N･cm)
水平耐荷重
39.2N (4kgf)
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
0.28kg
電気仕様
センサ基板型式
F-115(HOME, LIMIT), 勝手違い: F-115R(HOME, LIMIT)
モーター軸径
Φ5mm , オプションハンドル：A type
使用モーター 5相ステッピングモーター
多摩川精機: TS3664N16E2（定格電流 0.75A/相,基本ステップ角 0.72°）
コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
2相モーター仕様 型式
対応不可
2相モーター仕様：使用モーター
対応不可
2相モーター仕様：コネクタ型式
対応不可
オーバーホール費
¥42,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます）
¥30,000
真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます）
¥30,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費
交換不可
異形モータ交換費
交換不可
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した自動Xステージです。
●送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。
●5相ステッピングモーター使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。
