位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
XA10F-R102
価格(JPY)
¥190,000
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ステージ結線図
メカ仕様
型式
XA10F-R102
勝手違い
XA10F-R102-R
テーブル面
100mm×100mm
案内方式
精密クロスローラガイド
移動範囲
±12.5mm
送り方式
研削ネジ, リード 0.5mm
分解能 フル/ハーフ
0.5μm/0.25μm
分解能 マイクロステップ（1/20分割）
0.025μm
最高速度
2.5mm/sec
累積リード誤差
≦ 8μm/25mm(AVE.1.15μm/25mm)
繰返し位置決め精度
≦±0.3μm (AVE. ±0.04μm)
ロストモーション
≦ 1μm (AVE. 0.2μm)
水平真直度
≦ 0.5μm/25mm(AVE. 0.13μm/25mm)
垂直真直度
≦ 0.5μm/25mm(AVE. 0.12μm/25mm)
バックラッシュ
≦ 0.5μm (AVE. 0.13μm)
モーメント剛性
0.01 arcsec/N･cm (AVE. 0.004 arcsec/N･cm)
水平耐荷重
196N (20kgf)
材質
鉄
外観
ニッケルメッキ仕上げ
自重
2.75kg
電気仕様
センサ基板型式
F-101(HOME, LIMIT)
モーター軸径
Φ5mm , オプションハンドル：A type
使用モーター 5相ステッピングモーター
オリエンタルモーター: PK544PMB
コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12RA-20PC)
2相モーター仕様 型式
XA10F-R102-BM
2相モーター仕様：使用モーター
オリエンタルモーター: PKP244D15B
2相モーター仕様：コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12RA-20PC)
オーバーホール費
¥48,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます）
¥36,000
真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます）
¥36,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費
¥12,000~
異形モータ交換費
¥30,000~
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した自動Xステージです。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。Z軸として縦に使用しても落下することがありません。
●5相ステッピングモーター使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
