位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
XA16A-R101
価格(JPY)
¥240,000
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ステージ結線図
メカ仕様
型式
XA16A-R101
勝手違い
XA16A-R101-R
テーブル面
160mm×124mm
案内方式
精密クロスローラガイド
移動範囲
±30mm
送り方式
研削ネジ, リード 1.0mm
分解能 フル/ハーフ
2μm/1μm
分解能 マイクロステップ（1/20分割）
0.1μm
最高速度
10mm/sec※入力電源AC100V仕様のドライバー使用時
累積リード誤差
≦ 10μm/60mm(AVE. 5.24μm/60mm)
繰返し位置決め精度
≦±0.5μm (AVE. ±0.13μm)
ロストモーション
≦ 2μm (AVE. 0.89μm)
水平真直度
≦ 1μm/60mm(AVE. 0.26μm/60mm)
垂直真直度
≦ 2μm/60mm(AVE. 0.28μm/60mm)
バックラッシュ
≦ 1μm (AVE. 0.21μm)
モーメント剛性
0.01 arcsec/N･cm (AVE. 0.005 arcsec/N･cm)
水平耐荷重
294N (30kgf)
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
3.6kg
電気仕様
センサ基板型式
F-101(HOME, LIMIT)
モーター軸径
Φ8mm , オプションハンドル：B type
使用モーター 5相ステッピングモーター
オリエンタルモーター: C087Q-9215P
コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12RA-20PC)
2相モーター仕様 型式
XA16A-R101-BM※ 追加費用￥40,000コネクタ型式が変わります。
2相モーター仕様：使用モーター
オリエンタルモーター: PK264JDB
2相モーター仕様：コネクタ型式
角形20ピン (ヒロセ: PC-1620, P-1620A-STA)
オーバーホール費
¥60,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます）
¥48,000
真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます）
¥48,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費
¥15,000~
異形モータ交換費
¥36,000~
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した自動Xステージです。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。Z軸として縦に使用しても落下することがありません。
●5相ステッピングモーター使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。
