位置決めステージ 【モンブランシリーズ】
価格(JPY) ¥420,000
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    ステージ結線図
メカ仕様
型式
XA16F-L2301
勝手違い
XA16F-L2301-R
テーブル面
160mm×160mm
案内方式
精密リニアガイド
移動範囲
±152mm
送り方式
ボールネジ, リード 5.0mm
分解能 フル/ハーフ
10μm/5μm
分解能 マイクロステップ(1/20分割)
0.5μm
最高速度
50mm/sec※入力電源AC100V仕様のドライバー使用時
累積リード誤差
≦ 20μm/304mm(AVE. 10.05μm/304mm)
繰返し位置決め精度
≦±0.5μm (AVE. ±0.09μm)
ロストモーション
≦ 5μm (AVE. 3.04μm)
水平真直度
≦ 5μm/304mm(AVE. 2.13μm/304mm)
垂直真直度
≦ 5μm/304mm(AVE. 1.36μm/304mm)
バックラッシュ
≦ 2μm (AVE. 0.31μm)
モーメント剛性
0.02 arcsec/N・cm (AVE. 0.001 arcsec/N・cm)
水平耐荷重
392N (40kgf)
材質
鉄 (テーブル: アルミ合⾦)
外観
⿊⾊仕上げ
自重
18.2kg
電気仕様
センサ基板型式
F-104(LIMIT), F-105(HOME)
モーター軸径
Φ8mm , オプションハンドル:B type
使用モーター 5相ステッピングモーター
オリエンタルモーター: C087Q-9215P
コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12RA-20PC)
2相モーター仕様 型式
XA16F-L2301-BM※ 追加費用¥40,000コネクタ型式が変わります。
2相モーター仕様:使用モーター
オリエンタルモーター: PK264JDB
2相モーター仕様:コネクタ型式
角形20ピン (ヒロセ: PC-1620, P-1620A-STA)
オーバーホール費
¥84,000~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
¥60,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
¥60,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費
¥15,000~
異形モータ交換費
¥36,000~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません
備考・特徴

●本体部材質に鉄、送り方式にボールネジを採用することにより高剛性と精密位置決めを同時に実現。
●各種測定機器への利用に最適。
●原点復帰の際に、領域(データム)センサを利用しています。CW側常時遮光。
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。