位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
XM07A-S1
メカ仕様
型式
XM07A-S1
勝手違い
XM07A-S1-R
テーブル面
70mm×70mm
案内方式
精密クロスローラーガイド
駆動方式
マイクロメータヘッド (13mm)
移動範囲
±6.5mm
最小読み取り
10μm/目盛
真直度
≦2.0μm/13mm
モーメント剛性
0.1 arcsec/N・cm
水平耐荷重
58.8N (6kgf)
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
0.43kg
オーバーホール費
¥15,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
¥12,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
¥12,000
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した手動Xステージです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●駆動方式は、マイクロメータヘッドを採用。
●サイド押しタイプはコンパクトで狭いスペースでの使用に最適です。