位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
XM10A-C1
メカ仕様
型式
XM10A-C1
勝手違い
XM10A-C1-R
テーブル面
100mm×100mm
案内方式
精密クロスローラーガイド
駆動方式
マイクロメータヘッド (25mm)
移動範囲
±12.5mm
最小読み取り
≦2.0μm/25mm
真直度
≦2.0μm/25mm
モーメント剛性
0.07 arcsec/N・cm
水平耐荷重
98N (10kgf)
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
0.85kg
オーバーホール費
¥15,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
¥12,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
¥12,000
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した手動Xステージです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●センター押しタイプは使い易さに優れています。