位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
YA04A-R102-NNR
メカ仕様
型式
YA04A-R102-NNR
勝手違い
YA04A-R102-RRN
テーブル面
40mm×40mm
案内方式
精密クロスローラガイド
移動範囲
±5mm
送り方式
研削ネジ, リード 0.5mm
分解能 フル/ハーフ
1μm/0.5μm
分解能 マイクロステップ(1/20分割)
0.05μm
最高速度
5mm/sec
累積リード誤差
≦ 5μm/10mm
繰返し位置決め精度
≦±0.3μm
ロストモーション
≦ 2μm
水平真直度
≦ 2μm/10mm
垂直真直度
≦ 2μm/10mm
バックラッシュ
≦ 2μm
モーメント剛性
1.56 arcsec/N・cm
水平耐荷重
39.2N (4kgf)
直交度
≦ 8μm/10mm
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
0.38kg
電気仕様
センサ基板型式
F-115(HOME, LIMIT), 勝手違い: F-115R(HOME, LIMIT)
モーター軸径
Φ4mm , オプションハンドル:C type
使用モーター 5相ステッピングモーター
オリエンタルモーター:PK513PB
コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
2相モーター仕様 型式
YA04A-R102-NNR-BM
2相モーター仕様:使用モーター
オリエンタルモーター: PKP214D06B
2相モーター仕様:コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
オーバーホール費
¥84,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
¥60,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
¥60,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費
¥24,000~
異形モータ交換費
交換不可
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した自動XYステージです。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。
●5相ステッピングモーター使用。定格電流は0.35A/相です
●原点近接センサを原点位置とします。
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。
◇使用上のご注意◇
垂直方向でご使用になる場合は、モーターが下になるようにして設置してください。またそれ以外の方向でご使用の場合はご相談ください。