位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
YA07A-R202
メカ仕様
型式
YA07A-R202
勝手違い
YA07A-R202-RRR
テーブル面
70mm×70mm
案内方式
精密クロスローラガイド
移動範囲
±10mm
送り方式
ボールネジ, リード 1.0mm
分解能 フル/ハーフ
1μm/0.5μm
分解能 マイクロステップ(1/20分割)
0.05μm
最高速度
5mm/sec
累積リード誤差
≦ 5μm/20mm
繰返し位置決め精度
≦±0.2μm
ロストモーション
≦ 0.5μm
水平真直度
≦ 0.5μm/20mm
垂直真直度
≦ 0.6μm/20mm
バックラッシュ
≦ 0.2μm
モーメント剛性
0.31 arcsec/N・cm
水平耐荷重
88.2N (9kgf)
直交度
≦ 5μm/20mm
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
1.2kg
電気仕様
センサ基板型式
F-116(HOME, LIMIT), 勝手違い: F-116R(HOME, LIMIT)
モーター軸径
Φ5mm , オプションハンドル:A type
使用モーター 5相ステッピングモーター
オリエンタルモーター: PK523HPMB
コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
2相モーター仕様 型式
YA07A-R202-BM
2相モーター仕様:使用モーター
オリエンタルモーター: PKP225D15B2
2相モーター仕様:コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
オーバーホール費
¥84,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
¥60,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
¥60,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費
¥24,000~
異形モータ交換費
¥60,000~
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した自動XYステージです。
●送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。
●5相ステッピングモーター使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。