位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
YA07F-R103
価格(JPY)
¥326,000
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ステージ結線図
メカ仕様
型式
YA07F-R103
勝手違い
YA07F-R103-RRR
テーブル面
70mm×70mm
案内方式
精密クロスローラガイド
移動範囲
±10mm
送り方式
研削ネジ, リード 0.5mm
分解能 フル/ハーフ
0.5μm/0.25μm
分解能 マイクロステップ（1/20分割）
0.025μm
最高速度
2.5mm/sec
累積リード誤差
≦ 10μm/20mm
繰返し位置決め精度
≦±0.3μm
ロストモーション
≦ 1μm
水平真直度
≦ 0.5μm/20mm
垂直真直度
≦ 0.6μm/20mm
バックラッシュ
≦ 1μm
モーメント剛性
0.15 arcsec/N･cm
水平耐荷重
88.2N (9kgf)
直交度
≦ 5μm/20mm
材質
鉄
外観
ニッケルメッキ仕上げ
自重
2.6kg
電気仕様
センサ基板型式
F-116(HOME, LIMIT), 勝手違い: F-116R(HOME, LIMIT)
モーター軸径
Φ5mm , オプションハンドル：A type
使用モーター 5相ステッピングモーター
オリエンタルモーター: PK544PMB
コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
2相モーター仕様 型式
YA07F-R103-BM
2相モーター仕様：使用モーター
オリエンタルモーター: PKP244D15B
2相モーター仕様：コネクタ型式
丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
オーバーホール費
¥84,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます）
¥60,000
真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます）
¥60,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費
¥24,000~
異形モータ交換費
¥60,000~
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した自動XYステージです。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。
●5相ステッピングモーター使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。
