位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
YM07A-C3-CL
メカ仕様
型式
YM07A-C3-CL
勝手違い
YM07A-C3-RRR-CL
テーブル面
70mm×70mm
案内方式
精密クロスローラーガイド
駆動方式
精密ポジショナー FPP03-13(13mm)
移動範囲
粗動 13mm, 微動0.3mm
最小読み取り
粗動 約10μm/目盛, 微動 約0.5μm/目盛
直交度
≦20μm/13mm
真直度
≦2.0μm/13mm
モーメント剛性
0.2 arcsec/N・cm
水平耐荷重
53.9N (5.5kgf)
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
0.96kg
オーバーホール費
¥30,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
¥24,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
¥24,000
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した手動XYステージです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●センター押しタイプは使い易さに優れています。
●「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。