位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
YM07A-S1W
メカ仕様
型式
YM07A-S1W
勝手違い
-
テーブル面
70mm×70mm
案内方式
精密クロスローラーガイド
駆動方式
マイクロメータヘッド (6.5mm)
移動範囲
±3mm
最小読み取り
10μm/目盛
直交度
≦5μm/6mm
真直度
≦1.0μm/6mm
モーメント剛性
0.4 arcsec/N・cm
水平耐荷重
49N (5kgf)
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
0.36kg
オーバーホール費
¥30,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
¥24,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
¥24,000
アクセサリ
備考・特徴
●2軸一体化構造により薄型軽量化を実現
●高さ:42mm → 20mm (当社従来品と比較)
●自重:860g → 360g (当社従来品と比較)
●透過穴を確保(最小有効透過穴径φ28mm)