位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
YM16A-C1
メカ仕様
型式
YM16A-C1
勝手違い
YM16A-C1-RRR
テーブル面
160mm×160mm
案内方式
精密クロスローラーガイド
駆動方式
マイクロメータヘッド (25mm)
移動範囲
±12.5mm
最小読み取り
10μm/目盛
直交度
≦20μm/25mm
真直度
≦2.0μm/25mm
モーメント剛性
0.06 arcsec/N・cm
水平耐荷重
166.6N (17kgf)
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
5.4kg
オーバーホール費
¥42,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
¥36,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
¥36,000
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した手動XYステージです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。