位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
ZA07A-X103
価格(JPY)
¥158,000
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ステージ結線図
メカ仕様
型式
ZA07A-X103
勝手違い
ZA07A-X103-R
テーブル面
70mm×70mm
案内方式
精密クロスローラガイド
移動範囲
±10mm
送り方式
研削ネジ, リード 0.5mm
分解能 フル/ハーフ
0.5μm/0.25μm
分解能 マイクロステップ（1/20分割）
0.025μm
最高速度
2.5mm/sec
繰返し位置決め精度
≦±0.3μm
ロストモーション
≦1.5μm
垂直度
≦ 7μm/20mm
水平耐荷重
49N (5kgf)
材質
アルミ合金
外観
ニッケルメッキ仕上げ
自重
1.4kg
電気仕様
センサ基板型式
F-116(HOME, LIMIT), 勝手違い: F-116R(HOME, LIMIT)
モーター軸径
Φ5mm , オプションハンドル：A type
使用モーター 5相ステッピングモーター
オリエンタルモーター: PK544PMB
コネクタ型式
ヒロセ: RP13A-12JG-20PC
2相モーター仕様 型式
ZA07A-X103-BM
2相モーター仕様：使用モーター
オリエンタルモーター: PKP244D15B
2相モーター仕様：コネクタ型式
ヒロセ: RP13A-12JG-20PC
オーバーホール費
¥42,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます）
¥30,000
真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます）
¥30,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費
¥12,000~
異形モータ交換費
¥30,000~
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した、縦置き型自動Zステージです。
●Xステージ 「XA07A-R103」 にブラケットを取り付けたものです。
●5相ステッピングモーター使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。
