位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
ZM05A-S3K
価格(JPY)
¥138,000
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メカ仕様
型式
ZM05A-S3K
勝手違い
ZM05A-S3K-R
テーブル面
50mm×50mm
案内方式
精密クロスローラガイド
駆動方式
精密ポジショナー FPP03-13(13mm)
移動範囲
粗動 ±3.25mm, 微動 0.15mm
最小読み取り
粗動 約5μm/目盛, 微動 約0.25μm/目盛
垂直度
≦ 5μm/6.5mm
水平耐荷重
19.6N (2kgf)
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
0.38kg
オーバーホール費
¥24,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます）
¥18,000
真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます）
¥18,000
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用したマイクロレバー方式手動Zステージです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●ZM05A-S3Kは「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
