ウエハ形状測定ソリューション
DY-3001YM仕様
| 型式 | DY-3001XY-xxx | |
| 測定項目 | 表面形状・厚さ・Semi規格測定（SORI/ BOW/WARP/GBIR 他） | |
| 測定対象 | Si / SiC / GaN / Ga2O3/ LT / LN / GaAS 等の半導体材料(ウェハ)及び 接合ウェハのそり・厚さ ガラスや石英 (SiO2) 等の透明体材料のそり・厚さ フィルム / レジン / 接着剤等の樹脂材料のそり・厚さ 金属製の部品・電子基板の平坦度 |
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| 対応環境 | クリーンルーム ISO Class 6 (ISO 14644-1) | |
| 最大測定範囲 | □300 [mm] | |
| 最小分解能 | （ＸＹ） | 0.001 [mm] （ただし、最大点数 2,500万点 = 5,000 点 x 5,000 点） |
| （Ｚ） | 0.01 [um]※１※２ | |
| 測定測度 (最大※3/ 最小) | 200 mm/s※3/ 1mm/s | |
| 移動速度 (最大 / 最小) | 200 mm/s / 1mm/s | |
| 主な構成 | ・装置本体（測定機構 / 変位センサ※４ / 制御機器 / ＰＣ / 安全対策カバー） ・制御コンソール（モニタ / キーボード / マウス） ・測定ソフトウェア ・その他付属品 |
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| オプション | ワークホルダ※5 | ・12inchウェハ対応 3点支持ホルダ ・12inchウェハ対応 吸着ホルダ ・12inchウェハ対応 多孔質吸着ホルダ ・M6 マトリクスタップ 付き ブレッドボードテーブル ・その他特注ホルダ／テーブル※５ |
| 安全カバー | ・透明アクリル仕様安全カバー | |
| コンソール | ・モニター / キーボードスタンド ・ラックテーブル |
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| 電源仕様※6 | AC100 V ～ 120 V※7、-15 % ～ +10 % | |
| 消費電力 | 1500Ｗ | |
| サ イ ズ | W:1203 × D:902 × H:1439（表示灯 1958）[mm] モニタ、キーボードを除く | |
| 重 量 | 約 450kg | |
※２ 本装置は、輸出該当品となります。
※３ 測定測度（最大）は、搭載されたセンサのサンプリング周期により遅くなる場合があります。
※４ 主な搭載可能な変位センサの詳細はお問い合わせください。
※５ ワークホルダは、表中の仕様以外にも特注で製作が可能です。詳細はお問い合わせください。
※６ ユーティリティーは、ＡＣ電源のみ必要となります。
※７ ＡＣ200V仕様を製作することも可能ですので、詳細はお問い合わせください。