真空対応ステージ
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真空対応ステージガイダンス
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よくあるご質問
ステージ以外の環境に依存するところが大きいため、ステージ性能として真空到達圧力を保証することは出来ません。
また、モーター静止状態と回転状態とでも大きく変わります。
一般的に、真空製品は放出ガス速度（Pa・m3/sec）から、求める真空度に到達可能かを計算します。
弊社真空ステージの放出ガス速度については、真空対応ステージページを参照下さい。
参考までに、通常の中・高真空に配慮された環境ならば1×10-3Paならばまず問題なく到達します。
さらに環境によっては10-5Pa台での実績もございます。
尚、MVシリーズはベーキングには対応しておりませんので、ご注意下さい。