真空対応ステージ
MVRA16A-WH01
価格(JPY)
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メカ仕様
型式
MVRA16A-WH01
テーブル面
Φ158mm
案内方式
アンギュラベアリング
移動範囲
±170°
回転範囲
±170°
送り方式
ウォーム＆ウォームホイール 1/180
分解能 フル/ハーフ
0.004° / 0.002°
分解能 マイクロステップ（1/20分割）
0.0002°
最高速度
10°/sec : Half 5kpps
累積誤差
≦0.01°/360°
ロストモーション
≦0.008°
角度再現性
≦0.01°
ピッチ誤差
≦0.004°/2°
バックラッシュ
≦0.004°
モーメント剛性
0.03 arcsec/N・cm
水平耐荷重
588N (60kgf)
面振れ
≦20μm/360°
偏心
≦10μm/360°
材質
アルミ合金
自重
5.6kg
電気仕様
使用モーター 5相ステッピングモーター
真空5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相，基本ステップ角 0.72°
コネクタ型式
真空用 D-sub 9ピン (Accu-Glass Products 9D-HVCP)
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●精密ベアリングを使用した、ウォーム＆ウォームホイール式の真空対応自動回転ステージです。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
