真空対応ステージ
MVSA05B-RM02
価格(JPY)
-
-
図面閲覧図面ダウンロード
メカ仕様
型式
MVSA05B-RM02
テーブル面
50mm×50mm
案内方式
精密クロスローラガイド
移動範囲
±10°
回転範囲
±10°
送り方式
ウォーム＆ウォームホイール 1/300
分解能 フル/ハーフ
0.0024°/0.0012°
分解能 マイクロステップ（1/20分割）
0.00012°
最高速度
6°/sec : Half 5kpps
ロストモーション
≦0.006°
バックラッシュ
≦0.003°
モーメント剛性
0.31 arcsec/N・cm
水平耐荷重
29.4N (3kgf)
ワークディスタンス
68mm±0.2mm
回転中心変位量
φ0.05mm/±10°
材質
リン青銅
自重
0.76kg
電気仕様
使用モーター 5相ステッピングモーター
真空5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相，基本ステップ角 0.72°
コネクタ型式
真空用 D-sub 9ピン (Accu-Glass Products: 9D-HVCP)
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●案内方式に精密クロスローラガイドを使用した真空対応スイベルステージです。
●本体材質はリン青銅。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
