真空対応ステージ
MVXA16A-R101
価格(JPY)
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メカ仕様
型式
MVXA16A-R101
テーブル面
160mm×124mm
案内方式
精密クロスローラガイド
移動範囲
±30mm
送り方式
研削ネジ, リード 1.0mm
分解能 フル/ハーフ
2μm/1μm
分解能 マイクロステップ（1/20分割）
0.1μm
最高速度
5mm/sec : Half 5kpps
累積リード誤差
≦ 10μm/60mm
繰返し位置決め精度
≦±0.5μm
ロストモーション
≦ 2μm
水平真直度
≦ 2μm/60mm
垂直真直度
≦ 2μm/60mm
バックラッシュ
≦ 1μm
モーメント剛性
0.03 arcsec/N･cm
水平耐荷重
294N (30kgf)
材質
アルミ合金
自重
3.6kg
電気仕様
使用モーター 5相ステッピングモーター
真空5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72°
コネクタ型式
真空用 D-sub 9ピン (Accu-Glass Products 9D-HVCP)
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した真空対応自動Xステージです。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
