真空対応ステージ
MVZA07A-X103
価格(JPY)
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メカ仕様
型式
MVZA07A-X103
テーブル面
70mm×70mm
案内方式
精密クロスローラガイド
移動範囲
±10mm
送り方式
研削ネジ, リード 0.5mm
分解能 フル/ハーフ
1.0μm/0.5μm
分解能 マイクロステップ（1/20分割）
0.05μm
最高速度
2.5mm/sec : Half 5kpps
繰返し位置決め精度
≦±0.5μm
ロストモーション
≦1.5μm
垂直度
≦7μm/20mm
水平耐荷重
49N (5kgf)
材質
アルミ合金
自重
1.4kg
電気仕様
使用モーター 5相ステッピングモーター
真空5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相，基本ステップ角 0.72°
コネクタ型式
真空用 D-sub 9ピン (Accu-Glass Products 9D-HVCP)
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した、縦置き型真空対応自動Zステージです。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
